सूक्ष्म 

1. जो किसी दूसरे के द्वारा स्वयं बाधित न हो और नही किसी दूसरे को बाधा पहुँचाए वह पदार्थ या जीव सूक्ष्म हैं। इनकी गति का जल थल आदि आधारों के द्वारा प्रतिघात नहीं होता। 2. जो इन्द्रियों के ग्रहण के अयोग्य हैं वे पदार्थ व जीव सूक्ष्म कहलाते हैं। 3. जो भाव केवल ज्ञानगम्य हैं वे भी सूक्ष्म जानना चाहिए। सूक्ष्मता के दो भेद हैंअन्त्य और आपेक्षिक। परमाणु में अन्त्य सूक्ष्मता है तथा बेल, आँवला और बेर आदि में आपेक्षिक सूक्ष्मता है।